以核心技术铸真空设备中国“芯”
发布时间:2026-05-25 来源:网络 作者:Dylan 【 字体:大 中 小 】
杭州朗为科技有限公司成立于2015 年,是专注磁控溅射阴极与离子源研发、生产、销售及技术服务的国家高新技术企业,深耕真空镀膜核心部件领域,以自主创新推动国产替代,为高端制造提供稳定可靠的关键组件与综合解决方案。

朗为科技扎根杭州,坚持自主研发 + 产学研协同,与哈尔滨工业大学等高校深度合作,将物理场有限元分析、工程验证与批量制造结合,快速完成产品迭代与定制化开发。公司已形成十余项专利,先后获评国家高新技术企业、杭州市高新技术企业、浙江省中小型科技企业、杭州市雏鹰计划企业,以硬核资质奠定行业地位。
为支撑产品研发与客户验证,公司搭建了完备的测试平台:38×90cm 测试机 1 台、26×120cm 测试机 1 台、8 寸高真空测试机 1 台、120×120cm 镀膜机 1 台等多种测试机,可全面覆盖多规格、多工艺场景的产品开发与性能验证,大幅缩短定制项目落地周期,保障产品稳定性与一致性,高效响应客户定制需求。
全流程测试平台,保障产品性能与定制化交付

朗为科技聚焦磁控溅射阴极、离子源两大主线,形成完整自主产品矩阵,同时代理美国 Angstrom、KRI、德国 J.Schneider 等国际一线品牌,兼顾国产自主与全球优选,满足不同客户配置需求。

1. 磁控溅射阴极:高利用率、高均匀性
·圆形平面阴极:支持2–8 英寸靶材,兼容 DC/Pulsed-DC/MF/RF,磁场模块化可单独更换,可选角度调节、靶基距调节、防污染环、匀气环、气动挡板、旋转磁场等多种配置,适配多元镀膜工艺。
·条形平面阴极:靶材宽度50–200mm、长度300–4000mm,靶材利用率高达 41.2%,接近国际顶尖水平;宽靶面刻蚀减少打火,磁场类型丰富,磁铁与水路隔离,整体绝缘设计提升可靠性。
·圆柱旋转阴极:覆盖OD76/OD100/OD152mm规格,磁场强度340GS–1500GS,适配大产能连续镀膜,膜厚均匀性优异,长期稳定运行。
·阳极层离子源:圆形款最大放电电压2500V、离子能量 >1250eV;条形款最大放电电压3500V(脉冲 DC),离子能量200–1750eV,适配 Ar、O₂、N₂,用于基材预清洗与辅助沉积。
·考夫曼离子源:分辅助与刻蚀两大系列,规格6–30cm,刻蚀型均匀性 ≤±5%,工作真空1×10⁻²–4×10⁻²Pa,满足高精度刻蚀与薄膜制备。
·ICP 等离子体源:采用13.56MHz 射频、环绕激发提升离化率,线圈置于大气侧降低污染,单线圈设计减少射频干扰,长度可达2 米以上,适配大面积镀膜场景。
·弧光源:轰击能量100V 连续可调,支持全方位清洗与 3D 曲面刻蚀,SUS304 最大静态刻蚀速率 >50nm/min,广泛用于光学、装饰、刀具镀膜等领域。
·阴极离子源:放电电流 >8A/m,工作压强5×10⁻¹–20Pa,专注 PET/PP 等柔性基材表面清洗活化,提升膜层附着力。
公司代理德国 ADL 电源、Gasloop 反应气体控制器、流量计等全系列配套零配件,形成一站式解决方案,同时提供离子源与阴极维修、升级、改造服务,形成 “核心部件 + 配套部件 + 技术服务” 一体化能力。其中 Gasloop 控制器通过靶电压闭环控制,消除磁滞效应,使沉积速率提升2–5 倍。
·专注深耕:十余年聚焦磁控溅射阴极与离子源,团队具备长期工程验证经验,深度洞察应用场景,提供从选型到调试的全流程方案。
·高效研发:有限元仿真 + 快速验证,可针对客户设备低成本、快周期完成升级改造,适配产线更迭需求。
·稳定交付:成熟供应链与品控体系,保障质量一致性与交期,支撑客户批量量产。
·丰富生态:自主 + 代理双轮驱动,产品谱系持续升级,覆盖从小尺寸科研到大面积工业量产全场景。
朗为科技以 “让核心部件选配更安心”为使命,以“打造真空设备中国‘芯’”为愿景,坚守守信、专注、实干、创新的价值观,信守承诺、客户至上,以数据与实绩说话,持续突破关键技术,致力于制定行业标准、提升国产真空设备核心竞争力。
面向半导体、光学、显示、新能源、汽车、装饰镀膜等高端领域,朗为科技将持续深耕真空镀膜核心部件,以自主创新打破国外垄断,以稳定可靠助力产业升级,与全球客户携手共赢,共筑真空镀膜装备国产化新未来。
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